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半導體MEMS探針卡自動化設備

半導體MEMS探針卡自動化設備

  • 探針卡五軸雷射鑽孔機
  • 鑽孔檢查&陶瓷卡自動貼合
  • MEMS探針卡雙臂植針機
  • 探針雷射塑形機、雷射探針卡清潔機
  • 探針卡自動換針機
  • 探針分選及整列機
  • 探針卡分析測試機
  • CoWoS FT自動化植針(90um)、檢測機
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半導體、光電產業精密自動化設備

半導體、光電產業精密自動化設備

  • 精密雷射切割設備
  • Mini LED自動化檢測與雷射返修設備
  • 精密雷射除膠機
  • MEMS Mirror自動化精密組裝設備
  • CoWoS基板元件返修設備
  • 精密碰焊機
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先進封裝高密度銅柱端子

先進封裝高密度銅柱端子

  • WIFI Module高密度銅柱端子
  • Power Module高密度銅柱端子
  • Interposer (10:1)銅柱TGV
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INNOS 探針卡生產與維修整線設備

  1. 探針卡 五軸雷射鑽孔機LS-11

    開發完成

    探針卡 五軸雷射鑽孔機 (LS-11)
    傳統作法

    雷射鑽孔機

  2. 導板檢查 與陶瓷卡自動貼合機PHIA-02

    預計 2026 Q1 完成

    導板檢查 與陶瓷卡自動貼合機 (PHIA-02)
    傳統作法

    人工與半自動貼合

  3. MEMS 探針卡 雙臂植針機AT-105

    開發完成

    MEMS 探針卡 雙臂植針機 (AT-105)
    傳統作法

    人工插針

  4. 探針卡 IPQC 檢查機PCR-01

    開發完成

    探針卡 IPQC 檢查機 (PCR-01)
    傳統作法

    顯微鏡下人工檢查

  5. 探針雷射塑形機 與雷射清潔機PHC-02

    開發完成

    探針雷射塑形機 與雷射清潔機 (PHC-02)
    傳統作法

    半自動雷射清潔

  6. 探針卡 自動換針機PIR-02

    開發完成

    探針卡 自動換針機 (PIR-02)
    傳統作法

    人工換針與量測

  7. 探針分選 及整列機PSA-01

    開發完成

    探針分選 及整列機 (PSA-01)
    傳統作法

    人工篩選

傳統探針卡生產流程

  1. 雷射鑽孔機

  2. 人工與半自動貼合

  3. 人工插針

  4. 顯微鏡下人工檢查

  5. 半自動雷射清潔

  6. 人工換針與量測

  7. 人工篩選

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